某半导体材料厂在生产方式具体步骤中在使用盐酸系显影液液，形成高氨水浓度含NOx废液，日办理量50吨。废液中含NO2-多达2000mg/L，且含少量充分光刻胶部分，办理难度系数比较大。 2. 生产废水部分及源头 显影液工步废弃物（一般危害源） 晶圆洗涤电镀废水 印刷废气洗涤剂塔排水道 3. 正确处理工艺技术具体流程 分为"中高级氧化物+两极生态学加工处理"研发加工制作工艺 ： 什么是臭氧脱色 ：能够 三氧發生器出现O3，将难可降解可挥发物进行分解为小原子东西，的同时将NO2-氧化物为NO3-。 生物体膜反映器（MBR） ： 第一次级：缺氧攻略条件下加药系统甲醇做为碳源，提高反活性污泥体现 其二级：好氧生物体膜进一歩分解生物碳物 分析化学工业宽度加工 ：选用钛基表层电级，借助钛电极效用根除工业制硝酸残留污染问题物。 4. 最后结果 NOx总氮降下来8mg/L下例 COD稳定性高在30mg/L以內 废液造纸废水处理率达60% 装置使用耗能抑制在3.5kWh/吨水，较传统化工序绿色建筑20%。