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电子半导体废水怎么处理|电子半导体废水如何处理

该晶圆加工厂隶属于华北城市,包括的分娩8寸大光电器件晶圆,日访问量工业废水排放出出量约800吨。因此的分娩整个过程中应用一大批氢佛酸做晶圆蚀刻,以至于工业废一般的水都氟化物密度敢达200-300mg/L,远超的国家排放出出标准规定(10mg/L下)。 生活污水组成及来自 废气重点基4个流程: 晶圆蚀刻环节 :含高酸度氟化物(HF)、硝酸钠及一点天价属 药剂学机械性打磨(CMP)污水 :含纳米级级硅粉末、无机络合剂 系统洁净化工废水 :含异丙醇、氟化物等有机酸物 加工处理艺注意事项 选取"化学反应沉积+混泥土沉积+的深度脱水"三级职业资格证书外理程序: 4级处里 :添加氯化钙和氢防氧化钙,构成氟化钙沉淀出的,氟化物清除率达85% 2级治疗 :加上PAC(缔合氯化铝)和PAM(PP酰胺),除去悬浊液态水废水 三級加工 :用多媒质筛选器和化学活化炭吸附剂,喷水氟化物浓度值保持稳定在8mg/L低于 首要专用设备其中包括:pH自主调节器平台、斜管水解池、板框过滤机(活性污泥脱水等)。 决定目的 新项目操作两年污染监测的数据屏幕上显示: 氟化物总值质量浓度:7.2mg/L(降到國家标准的) COD洗去率:92% 污泥干化含水量率:≤65% 年出售氟化钙副服务约150吨,达成资源性化再生利用

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