该晶圆加工厂隶属于华北城市,包括的分娩8寸大光电器件晶圆,日访问量工业废水排放出出量约800吨。因此的分娩整个过程中应用一大批氢佛酸做晶圆蚀刻,以至于工业废一般的水都氟化物密度敢达200-300mg/L,远超的国家排放出出标准规定(10mg/L下)。
生活污水组成及来自
废气重点基4个流程:
晶圆蚀刻环节
:含高酸度氟化物(HF)、硝酸钠及一点天价属
药剂学机械性打磨(CMP)污水
:含纳米级级硅粉末、无机络合剂
系统洁净化工废水
:含异丙醇、氟化物等有机酸物
加工处理艺注意事项
选取"化学反应沉积+混泥土沉积+的深度脱水"三级职业资格证书外理程序:
4级处里
:添加氯化钙和氢防氧化钙,构成氟化钙沉淀出的,氟化物清除率达85%
2级治疗
:加上PAC(缔合氯化铝)和PAM(PP酰胺),除去悬浊液态水废水
三級加工
:用多媒质筛选器和化学活化炭吸附剂,喷水氟化物浓度值保持稳定在8mg/L低于
首要专用设备其中包括:pH自主调节器平台、斜管水解池、板框过滤机(活性污泥脱水等)。
决定目的
新项目操作两年污染监测的数据屏幕上显示:
氟化物总值质量浓度:7.2mg/L(降到國家标准的)
COD洗去率:92%
污泥干化含水量率:≤65%
年出售氟化钙副服务约150吨,达成资源性化再生利用