某半导体行业集成块开发厂在晶圆生产制造进程中,的使用硅烷开展硅概念生长的,排放洗條塔形成高密度含硅废渣。废渣具备pH价格波动大(2-11)、硅水分含量高的基本特征,传统意义治疗技巧易造成硅垢堵赛一些问题。
工业废水组成及收入
化工废水大部分材料为:
溶于性硅酸盐
:SiO₂浓度值达1000-1500mg/L
氢氧化的钾/氢氧化的钠
:洗滌塔碱酸洗滌液留
粉末硅
:纳米级级SiO₂电解质溶液
痕量砷
:食材硫氰酸盐带往
工作技艺工作流程
去创新用于"多级与+膜过滤水+蒸发器析出"工艺设计:
四级与
:用CaO调理pH至4-5,合成硅酸钙结晶,硅取除率60%。
二次与
:加Na₂CO₃将pH提高了至9,进十步乳浊液余下硅,串联用镁剂除砷。
反渗透膜软件
:0.02μm卫浴陶瓷膜过虑納米级硅粒子,通量保持稳定在80LMH。
MVR蒸发掉器
:溶缩高盐废气,析出出Na₂SO₄副车辆,水回收利用率超90%。
之后感觉
总硅从1500mg/L减少为5mg/L以下的
砷含磷量从0.8mg/L降下来0.01mg/L
软件系统无积灰运转超2年
每一年回笼盐酸钠结晶约800吨