深圳某半导鑫霖环保芯片制造技术厂，晶圆激光加工操作过程中诞生含硅、氟的层次性化工废气，设计制作治疗整体规模1200吨/日。化工废气物质复杂性，具有刺激性納米级硅颗料及氢氧化钠，普通治疗步骤不可达到。 废污水的成分及来源于 关键环保问题物 ：橡胶胶体部分硅（100-500nm比表面积）、氟铝离子（200-300mg/L）、异丙醇 主要来源工艺 ：晶圆刻蚀污水（45%）、CMP电化学机械主设备制造抛光处理污水（40%）、主设备擦拭水（15%） 治疗技术标准流程 自主创新使用"化工析出+特殊膜破乳"枝术路径： 钙盐积淀 ：添加氯化钙除掉氟亚铁离子（转换成CaF2积淀） 斜管沉淀池反馈 ：复合材料二沉池剂保证固体硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm直径膜截流微细顆粒 反固化程序 ：脱盐率>98%，出售率75% 减压蒸馏晶体 ：浓水段实现了氟化物零排卸 终结功能 氟化物氧浓度：<8mg/L（不超发展中国家1阶段标准单位10mg/L） 硅浓度：<5mg/L 水资源现状性回收率：70%用以加热塔皮肤补水 危险废弃物减轻药量：减压蒸馏食物残渣量较传统艺术鑫霖环保降低60%